Imec масс-производит сверхмалые, единообразные нанопоры с использованием литографии EUV, развивая биосенсоры для геномики и медицины. Imec mass-produces ultra-small, uniform nanopores using EUV lithography, advancing biosensors for genomics and medicine.

Imec добилась первого масштабного производства нанопор в твердом состоянии с использованием литографии ЕС на 300-мм кремниевых вафелях, что позволяет производить массовое производство высокооднородных нанопор в количестве 10 нанометров с потенциалом для размера ниже 5 нм. Imec has achieved the first wafer-scale production of solid-state nanopores using EUV lithography on 300mm silicon wafers, enabling mass production of highly uniform nanopores as small as 10 nanometers with potential for sizes below 5nm. Сопоставимый с CMOS процесс позволяет преодолеть прошлые проблемы, связанные с масштабируемостью и изменчивостью, приведя соотношение " сигнал-шум " , составляющее 6,2, что свидетельствует о высокой эффективности обнаружения молекулярных транслокаций. The CMOS-compatible process overcomes past scalability and variability challenges, yielding a signal-to-noise ratio of 6.2, indicating strong performance for detecting molecular translocations. Этот прорыв открывает путь для высокопроизводительных биосенсорных сетей с прикладными приложениями в геномике, диагностике, персональной медицине и хранении молекулярных данных, преобразуя нанопорную технологию из лабораторных исследований в практическое, крупномасштабное использование. This breakthrough paves the way for high-throughput biosensor arrays with applications in genomics, diagnostics, personalized medicine, and molecular data storage, transforming nanopore technology from lab research to practical, large-scale use.